1. Мета та завдання навчальної дисципліни
Мета: підготовка спеціалістів, що зрозуміли і засвоїли фундаментальні хічні закономірності, які визначають властивості кристалічних і некристалічних твердих тіл і тонких плівок. Це дозволить майбутнім спеціалістам орієнтуватись та використовувати знання в різноманітних галузях техніки.
Задачею курсу є розгляд основних технологічних процесів які виникають при створені тонких плівок.
У результаті вивчення навчальної дисципліни студент повинен отримати
загальні компетентності:
v здатність застосовувати знання у практичних ситуаціях;
v знання та розуміння предметної області та розуміння професійної діяльності;
v здатність спілкуватися державною мовою як усно, так і письмово;
v здатніст до пошуку, оброблення та аналізу інформації з різних джерел.
спеціальні компетентності:
v здатність демонструвати і використовувати знання і розуміння наукових фактів, концепцій, теорій та технологій, необхідних для проектування та застосування мікро-та наносистемної техніки;
v здатність застосовувати та інтегрувати знання фундаментальних розділів фізики та хімії для розуміння процесів твердо тільної і оптичної електроніки та наноелектроніки у геліоенергетиці, приладах і пристроях фізичного та біомедичного призначення;
v здатність ідентифікувати, класифікувати, оцінювати і описувати процеси у мікро-та наносистемнійелектронній техніці за допомогою аналітичних методів та засобів моделювання;
v здатність приймати участь у виробництві мікро-та наносистемної техніки, а саме: керувати технологічним та біомедичним обладнанняи, монтувати, налагоджувати, проводити технічні випробування;
v здатність контролювати і діагностувати стан обладнання, виконувати профілактику, ремонт та технічне обслуговування мікро-та наносистемної техніки і геліоенергетичних систем, електроної апаратури фізичного та біомедичного призначення.
Очікувані програмні результати навчання знання:
v фізико-хімічні основи технологічних процесів нанесення тонких плівок на діелектричний підшарок;
v технологія виробництва плівкових гібридних та напівпровідникових ІМС.
вміння:
v будувати технологічний маршрут виготовлення ІМС;
v вибрати і обґрунтувати режими кожної технологічної операції;
v мати уявлення про основні принципи роботи технологічного обладнання, про засоби по техніці безпеки і охорони праці.
- Викладач: Матюшин Володимир