1. Мета та завдання навчальної дисципліни
Мета курсу:
v сформувати у студентів уявлення про розроблені на сьогодні технологічні процеси отримання нанорозмірних об’єктів, формування та виготовлення структур, пристроїв і приладів наноелектроніки, фізичних принципах їх роботи, а також їхніх електричних характеристиках, можливостях та обмеженнях у застосуванні;
v дати студентам уявлення про використовуване в технологічних процесах створення об’єктів та приладів наноелектроніки технологічне устаткування, принципи його роботи, основні характеристики і конструкції.
Основними задачами дисципліни є:
Ø огляд основних тенденцій розвитку нанотехнологій у світі;
Ø вивчення теоретичних основ формування об’єктів, пристроїв та приладів наноелектроніки та використовуваного з цією метою математичного апарата квантової механіки;
Ø отримання знань про сучасний рівень розвитку наноелектроніки в цілому;
Ø отримання знань про технології виготовлення та виробництва виробів наноелектроніки як складової частини технології й конструювання виробів електронної техніки та електронної апаратури;
Ø отримання знань про вже існуючі зараз і перспективні об’єкти, структури та прилади, що виготовляються нанотехнологічними методами;
Ø отримання знань про найбільш широко поширені зараз нанотехнологічні процеси, використовуване в них технологічне обладнання, принципи його роботи, конструкції, можливості та характеристики;
Ø вивчення ефектів, що визначають особливі закономірності протікання різних фізичних, хімічних і біологічних процесів у просторових областях манометрових розмірів;
Ø ознайомлення з сучасними досягненнями зі створення і застосування нанопристроїв.
За результатами вивчення навчальної дисципліни студент повинен
знати:
v теоретичні основи формування наноструктур, та використовуваний з цією метою математичний апарат квантової механіки;
v основні об’єкти, прилади та пристрої, що формуються нанотехнологічними методами, їх основні фізичні та електричні характеристики і параметри, особливості їх застосування та використання;
v зміст основних технологічних процесів формування наноструктур та об’єктів наноелектроніки;
вміти:
v використовувати одержані знання для роботи з конструкторською та технологічною документацією, що відноситься до наноелектронних приладів і технологічному устаткуванню для їх виробництва;
v проводити оціночні розрахунки, пов’язані з вибором режимів нанотехнологічних операцій, та інтерпретувати їх результати;
v складати технологічні маршрути виготовлення основних виробів наноелектроніки;
v використовувати одержані знання для читання спеціальної літератури та критичного засвоєння отриманої інформації.
набути досвід діяльності:
v самостійної роботи з навчальною і науковою літературою;
v з використання базових теоретичних знань у галузі природничих наук при розв’язанні професійних задач;
v із саморозвитку в галузі професійної діяльності.
- Teacher: Валентин Погосов