Дисципліна «Проектування мікро- і наноструктур» присвячена навчанню студентів принципів проектування пристроїв, виконання закладених функцій якими забезпечується поєднанням в одному корпусі елементів різної природи, таких як мікроелектронні, мікромеханічні, оптичні, акустичні елементи та ін. У процесі навчання студенти оволодівають навиками використання комп'ютерних засобів для проектування компонентів мікросистемної техніки (МСТ) з метою аналізу та синтезу, методами розрахунку основних типів механічних мікроелектронних елементів та методів контролю і вимірювань у мікромасштабах, теорією електромеханічних аналогій та іншими суміжними питаннями.
Мета - надання студентам базових знань з принципів побудови, функціонування та проектування мікро- і наноструктур, елементів та компонентів мікро- і наносистемної техніки.
Цілі - формування знань про компоненти мікросистемної техніки, фізичні принципи їх функціонування, конструкції, характеристики, базові технології та особливості застосування; освоєння методик експериментального і теоретичного дослідження компонентів мікросистемної техніки.
- Викладач: Наталія Іванівна Фурманова